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氧化鋁陶瓷靶材



氧化鋁靶材采用真空熱壓燒結(jié)與氣氛燒結(jié)工藝,得到氧化鋁靶坯,然后對氧化鋁靶坯進行機加工而制得。旋轉(zhuǎn)靶通常綁定在背管上使用,平面靶建議綁定在銅背板上使用,尺寸可根據(jù)客戶要求定制 。


純度:99.99%。
應用領域:機械設備、光學領域、微電子領域、半導體。


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